日本Fujikura藤倉無塵室對應超精密減壓閥RR-8-2-KA
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利用-減壓閥的外部先導壓力,進行出口壓力可變設定的空氣壓力操作的減壓閥.
壓力控制方式是因為采用滾動膜片與計量膜合的伺服平衡方式,可以實現無塵室對應的精密的壓力調整的減壓閥.
無塵規格
因為部品是不銹鋼及氟橡膠,-的部品全部為非電解鍍鎳處理,產生的雜質非常少.
歧管安裝對應
歧管連接配管可能.
排氣口裝備
因為排氣孔,溢流孔,可以連接排氣用配管;排氣空氣及溢流空氣都可以排到無塵室以外.
高精度
可以實現感度%.,反復再現性±%.的高精度控制.
| RR-8 | |
| 使用流體 | 清潔壓縮空氣 |
| 壓力設定范圍 (MPa) | ～ |
| 進口壓力設定范圍 (MPa) | 1. Max. |
| 排氣的有無 | 有 |
| 反復再現性 (%.) | ±以內 |
| 感度 (%.) | 以內 |
| 空氣消費量 (Nl/min) | 以內 |
| 使用溫度范圍 (℃) | 5～60 |
| 配管連接口徑 | Rc 1/4、歧管型 |
| 壓力表連接口徑 (Rc) | 1/4 |
| 支架 | 標準配置(歧管型以外) |
| 質量 (kg) |
