退火爐燒嘴

本實用新型公開了一種退火爐燒嘴,涉及用于管子的熱處理設備技術領域.本實用新型包括燒嘴頭,助燃風管,煤氣管和側壁設有風孔的固定助燃風套,助燃風管密封固定于燒嘴頭的側壁,固定助燃風套固定于燒嘴頭的空氣室內底部,煤氣管的下端穿過燒嘴頭上的第一固定法蘭伸入到固定助燃風套內,在煤氣管的中上部還密封固定有彎管,該彎管通過連接法蘭與連接管固定,連接管通過煤氣閥與高爐煤氣管連通,在煤氣管下端的出口處設有火焰擋板,在火焰擋板的上方設有螺旋式葉片,火焰擋板和螺旋式葉片均與穿過煤氣管內部的連接桿固定連接.本實用新型結構簡單,安拆容易,清理方便,使用安全可靠,火焰大小可調,燃燒柔和,均勻穩定,退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能.熱處理是針對不同的效果而設計的.可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底.退火爐可以集成到-爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理.退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的.退火爐是節能型周期式作業爐,超節能結構,采用纖維結構.