等離子體被稱為物質第4形態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體。以每秒300萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過多級凈化，將有害物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。等離子有機廢氣凈化器工作原理是采用高壓發生器形成低溫等離子體， 在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。經過長期的研究發生，當化學物質通過吸收能量（熱能、光子能量、電離），可以使自身的化學性質變得更活躍甚至被裂解。當吸收的能量大于化學鍵能，即可使化學鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團。電子能級8-11eV（3500KJ/mol-1600KJ/mol）等離子的作用下，一方面空氣中的氧被裂解， 然后組合產生臭氧；
另一方面將污染物化學鍵斷裂，使之形成游離態的原子或基團；同時產生的臭 氧參與到反應過程中，使廢氣最終被裂解，氧化成簡單的穩定的化合物CO2、H2O、N2，一系列過程的可能性決定于：
（2）裂解反應的時間是否足夠1S，氧化反應的時間是否達到5-8S 。安徽機械廠低溫等離子廢氣凈化系統
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